按功率傳感器技術(shù)類型，可把功率計(jì)分為3類：熱敏電阻型功率計(jì)，熱電偶型功率計(jì)和晶體檢波式功率計(jì)。

 

    激光功率計(jì)探頭使用熱敏電阻做功率傳感元件。熱敏電阻值的溫度系數(shù)較大，被測信號的功率被熱敏電阻吸收后產(chǎn)生熱量，使其自身溫度升高，電阻值發(fā)生顯著變化，利用電阻電橋測量電阻值的變化，顯示功率值。

 

    激光功率計(jì)探頭則是利用熱電偶型功率計(jì)中的熱偶結(jié)直接吸收高頻信號功率，結(jié)點(diǎn)溫度升高，產(chǎn)生溫差電勢，電勢的大小正比于吸收的高頻功率值，進(jìn)行功率測量。

 

    晶體檢波式功率計(jì)使用晶體二極管檢波器將高頻信號變換為低頻或直流電信號。適當(dāng)選擇工作點(diǎn)，使檢波器輸出信號的幅度正比于高頻信號的功率。

 

    1、熱敏電阻功率傳感器和功率計(jì)

 

    熱敏電阻是一種由金屬氧化物的化合物制成的電阻器，隨溫度呈現(xiàn)大的電阻變化。若將熱敏電阻用于形成功率傳感器的終端，則它的電阻將隨外加功率引起的溫升而變。

 

    圖2說明了熱敏電阻功率計(jì)的基本原理。圖2（a）的電路表明對于射頻輸入端上出現(xiàn)的信號，兩個(gè)熱敏電阻如何被布置成并聯(lián)以及如何與功率計(jì)相串聯(lián)。功率計(jì)的連接跨接在射頻旁路電容器兩端，以避免熱敏電阻那邊的射頻泄露。

 

    功率計(jì)和功率傳感器工作原理

 

    激光功率計(jì)探頭的基本工作原理（（a）熱敏電阻功率傳感器；（b）自動(dòng)平衡電橋）

 

    功率計(jì)利用稱為自動(dòng)平衡電橋的電路，該電路提供將熱敏電阻阻值RT維持恒定在R值上的直流偏置功率。若熱敏電阻上的射頻功率增加，則電橋使偏置功率減小一個(gè)相類似的量。射頻功率降低則引起電橋增加偏置功率，使熱敏電阻維持恒定的電阻。功率計(jì)內(nèi)的輔助電路對直流功率的這個(gè)變化進(jìn)行處理，以獲得功率讀數(shù)。

 

    激光功率計(jì)探頭和功率傳感器工作原理

 

    溫度補(bǔ)償式熱敏電阻傳感器

 

    熱敏電阻的阻值隨環(huán)境溫度以及射頻和直流功率而變，所以溫度的任何變化都會(huì)引起功率讀數(shù)變化。現(xiàn)代熱敏電阻功率傳感器通過利用與射頻檢測熱敏電阻有熱聯(lián)系但電氣上相隔離的第二組熱敏電阻來克服這一問題。圖3示出了溫度補(bǔ)償式熱敏電阻傳感器的電路。這類傳感器要求包含兩個(gè)自動(dòng)平衡電橋以及依據(jù)加到檢測熱敏電阻和補(bǔ)償熱敏電阻上的偏置信號來獲得功率讀數(shù)的電路的功率計(jì)。圖4給出了這類功率計(jì)的詳細(xì)框圖。

 

    激光功率計(jì)探頭和功率傳感器工作原理

 

    帶有溫度補(bǔ)償式熱敏電阻功率計(jì)原理框圖（N432A）

 

    將加到射頻電橋上的偏置功率相對于加到補(bǔ)償電橋上的功率進(jìn)行比較，射頻功率由下式給出：Prf=（Vc^2-Vrf^2）/4R

 

    式中，Prf為射頻功率；Vc為加到補(bǔ)償電橋上的電壓；Vrf為加到射頻電橋上的電壓；R為熱敏電阻傳感器在平衡時(shí)的電阻。

 

    功率計(jì)包含一個(gè)在通Vc與Vrf之和成正比的時(shí)期內(nèi)閉合的電子開關(guān)，從而在儀表測量部件M中形成電流流動(dòng)，其大小通Vc與Vrf之差成正比。通過儀表的電流的平均值計(jì)算式，不加射頻功率時(shí)，Vc=Vrf，這個(gè)條件在使用者啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)零電路時(shí)便能得到?，F(xiàn)代熱敏電阻功率計(jì)提供10mW---1uW輸入功率范圍的測量能力（40dB），并可提供能工作在100KHZ---1000GHZ頻率范圍內(nèi)不同波段的傳感器。

 

    熱敏電阻傳感器曾經(jīng)廣泛用于一般用途的功率測量，但它們已被能提供更佳性能的其他功率檢測方法取代?，F(xiàn)在的主要用途是功率計(jì)和傳感器的校準(zhǔn)。

 

    2、熱電偶功率傳感器和激光功率計(jì)探頭

 

    工程師十分希望功率傳感器具有寬動(dòng)態(tài)范圍、低漂移和小駐波比，且一臺(tái)儀器能夠容納寬的頻率范圍。利用熱電偶的功率傳感器便能滿足這些要求。

 

    兩種相異導(dǎo)體的連接形成一對熱電偶結(jié)，這些結(jié)兩端存在的任何溫度梯度將產(chǎn)生電壓。功率傳感器的熱電偶結(jié)構(gòu)被設(shè)計(jì)成包括一個(gè)耗散大部分外加功率的電阻器。電阻器的的溫度升高，在附件的熱電偶結(jié)兩端便形成溫度梯度，從而產(chǎn)生與功率成正比的電壓。兩組這類結(jié)構(gòu)實(shí)際上可以這樣取向，使由電阻器耗散的功率產(chǎn)生的溫升引起兩個(gè)熱電偶結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相加的溫差電壓，而由環(huán)境溫度變化產(chǎn)生的溫度梯度則引起相抵消的溫差電壓，因而將零讀數(shù)的漂移減至小。該電阻器的阻值被設(shè)計(jì)成為傳輸線提供良好匹配的終端。

 

    功率傳感器中使用的熱電偶元件可能由金、（n）型硅和氮化鉭電阻材料構(gòu)成，而薄膜結(jié)構(gòu)則提供工作在超過40GHz頻率上所需的小尺寸和精密幾何形狀。是利用這些技術(shù)的熱電偶傳感器的示意圖。

 

    功率計(jì)和功率傳感器工作原理

 

    熱電偶的靈敏度可以借助其直流輸出電壓的幅度相對于傳感器耗散的射頻功率的大小來說明。典型靈敏度約為160uV/mW，低達(dá)1.0uW的功率電平可以用這類傳感器進(jìn)行測量。必須測量的直流電壓可能低達(dá)0.16uV，所以功率計(jì)內(nèi)部的放大器必須提供高增益。重要的是，這些放大器不能添加到待測微伏電壓上或從中減去的任何附加直流偏置。

 

    斬波輸入放大器和同步檢波器能夠滿足這個(gè)要求。斬波器用方波驅(qū)動(dòng)信號進(jìn)行工作，它直接將交流耦合放大器的輸入電容器轉(zhuǎn)接傳感器的輸出端或者轉(zhuǎn)接到地。輸入電容器由直流輸入電壓充電并由接地放電，所以到放大器的輸入信號變成幅度正比于傳感器輸出的方波。交流耦合放大器具有足夠高的增益，產(chǎn)生數(shù)伏的輸出方波且不包含偏置電壓。同步檢波器靠與斬波器一樣相同信號工作的另一個(gè)開關(guān)，它將放大器輸出與RC（電阻器）濾波器相連或?qū)V波器輸入接地。由于輸出轉(zhuǎn)接與輸入斬波器同步，故濾波電容器由輸入直流電壓產(chǎn)生的方波的同一半周期充電。濾波器的輸出是很容易加以處理和顯示的直流電壓。

 

    功率計(jì)和功率傳感器工作原理

 

    整個(gè)功率計(jì)的結(jié)構(gòu)框圖。斬波器和輸入放大器的一部分包含在傳感器中，所以電平相當(dāng)高的信號被傳送至功率計(jì)，在此，信號經(jīng)放大，由同步檢波器變回到直流，再由儀表顯示。在利用熱電偶傳感器的數(shù)字式功率計(jì)或基于微處理器的功率計(jì)中也存在類似電路?，F(xiàn)代熱電偶式功率計(jì)提供在100mW到1uW（50dB）輸入功率范圍的功率測量能力。

 

    大多數(shù)熱電偶式功率計(jì)都提供了具有已校輸出功率的精密參考源，它用于調(diào)節(jié)系統(tǒng)的增益，以補(bǔ)償熱電偶不同元件之間靈敏度的變化。每當(dāng)將不同的傳感器與功率計(jì)相連時(shí)，使用者進(jìn)行這一調(diào)節(jié)，這一過程可以簡單到將傳感器與參考源相連并按動(dòng)相應(yīng)按鈕。

 

    功率計(jì)和功率傳感器工作原理

 

    3、二極管功率傳感器和功率計(jì)

 

    利用半導(dǎo)體二極管作為檢波元件有可能測量極低的功率電平。圖8示出了二極管傳感器的簡單形式?？梢钥闯?，它包含隔直流電容器，終端電阻器，二極管和射頻旁路電容器。流過二極管的電流是負(fù)載電阻器兩端出現(xiàn)的外加電壓的非線性函數(shù)。某些二極管在很低的外加電壓（mV級）下將傳導(dǎo)顯著電流（u*），但仍然存在非線性關(guān)系，并引起遵循外加電壓平方（即平方律響應(yīng)）的整流輸出，因而服從冪次關(guān)系。給出的數(shù)據(jù)說明，工作在平方律區(qū)域時(shí)，檢測二極管的輸出直接效仿輸入功率變化。由于檢波機(jī)理服從冪次關(guān)系，故平方律二極管傳感器將指示復(fù)合波形總功率的正確值。