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更新時間：2025-11-07
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UGA系列大氣分析設備
技術的質譜分析儀，壓強測試范圍從大氣到超高真空壓強，是在線監測和混合氣體分析的理想設備。無論檢測受限制的污染物，溶劑，氫化物，制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA都能勝任。UGA的應用包括半導體尾氣檢測，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測，污染檢測，發酵研究和簡單真空分析。
UGA系統自帶windows軟件，實時采集數據和圖形化顯示，操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時間關系圖、檢漏測試、氣體分析和在線分析。標準的GPIB和RS232接口方便與計算機連接控制。
UGA系列大氣分析設備
UGA系列氣體分析儀包含三種質譜范圍：分辨是100amu、200amu、300amu。
UGA系列大氣分析設備詳細參數如下：
♦入口類型 1 to 760Torr 不銹鋼和毛細管
10−1 to 10−4 Torr 1/8" to 1/4" 管型通道
<10−4 Torr 2.75"CF法蘭
流量 1 to 10 毫升/分鐘 （標準大氣壓下）
♦質譜儀器
類型 四（RGA）
探測器 法拉第杯和電子倍增管
質譜范圍 100, 200 or 300 amu
分辨率 Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)
探測限 Less than 1 ppm
工作壓力 5 × 10−6Torr
♦系統
高真空泵 渦輪分子泵
隔膜泵 超低壓隔膜泵
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